Пристрій для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді

 

Пристрій відноситься до электротермическому машинобудування, зокрема до вакуумних установок для нанесення покриттів у розряді. Цей винахід може знайти широке застосування в машинобудуванні, автобудуванні, хімічної промисловості.

Відомо пристрій для катодно-плазмового азотування виробів (Катодно-плазмене азотування виробів на базі модернізованого агрегату "Булат", інформаційний листок №300-88, Краснодар, ЦНТІ, 1988), що містить вакуумну камеру і підкладку для розміщення деталей, джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з підкладкою, позитивним - з корпусом камери, термоемісійний електрод, другий джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з термоемісійним електродом, позитивним - з корпусом камери.

Недоліком даного пристрою є відносно велика тривалість процесу хіміко-термічної обробки деталей і висока температура процесу.

Найбільш близьким до пропонованого є пристрій для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді (Пристрій для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді. Патент №2355817 від 04.07.2007 р.), що містить вакуу�ой, позитивним - з корпусом камери, термоемісійний електрод, другий джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з термоемісійним електродом, позитивним - з корпусом камери, додатковий порожнистий циліндричний електрод, коаксіально розташований між термоемісійним електродом і оброблюваною деталлю, і додатковий регульоване джерело постійної напруги, негативний полюс якого з'єднаний з підкладкою, а позитивний - з додатковим електродом, що мають внутрішній діаметр, перевищує геометричні розміри оброблюваної деталі і забезпечує кут падіння іонного потоку на поверхню оброблюваної деталі від нуля до критичного.

Недоліком даного пристрою є відносно велика тривалість процесу хіміко-термічної обробки деталей і висока температура процесу.

Завданням цього винаходу є скорочення тривалості процесу хіміко-термічної обробки деталей і зниження температури процесу.

У пристрої, що містить вакуумну камеру і підкладку для розміщення деталей, джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з підкладкою, позитивним - з корпусом камери, термоемісійний е�льним - з корпусом камери, порожнистий циліндричний електрод, що має внутрішній діаметр, перевищує геометричні розміри оброблюваної деталі, і термоемісійний електрод, розташований коаксіально з циліндричним електродом, рішення поставленої задачі досягається тим, що вводиться другий порожнистий циліндричний електрод, аналогічний першому і розташований коаксіально до нього з утворенням електростатичної лінзи з першим, при цьому вісь симетрії порожнистих циліндричних електродів орієнтована під кутом, рівним критичному куті падіння іонного потоку на поверхню оброблюваної деталі, а термоемісійний електрод розташований у фокусі електростатичної лінзи.

Даний пристрій володіє істотною відмінністю, так як передбачає використання другого полого циліндричного електрода, аналогічного першому і розташованого коаксіально до нього з утворенням електростатичної лінзи з першим, при цьому вісь симетрії порожнистих циліндричних електродів орієнтована під кутом, рівним критичному куті (для даного матеріалу) падіння іонного потоку на поверхню оброблюваної деталі, а термоемісійний електрод розташований у фокусі електростатичної лінзи, що позволяетод кутом, рівним критичному, скорочення тривалості процесу хіміко-термічної обробки деталей і зниження температури процесу.

Азотування (приватний випадок хіміко-термічної обробки) в розряді, як відомо, включає два конкуруючих процесу: катодне розпилення поверхні, що супроводжується утворенням в атмосфері азоту нітриду розпорошується матеріалу і конденсації, адсорбції (зворотне катодне розпилення на поверхні утворилися нітридів, а також іонів азоту, що супроводжується дифузією азоту в матрицю).

Ефективність катодного розпилення в розряді істотно залежить від кута (α) падіння іонного потоку. При кутах падіння, відмінних від критичного, відбувається зменшення коефіцієнта розпилення, в той час як при куті падіння, що дорівнює критичному, реалізується коефіцієнт розпилення в 1,25-2,5 рази вищий, ніж при нормальному падінні іонів (В. А. Аброян, А. Н. Андронов, А. В. Тітов. Фізичні основи електронної та іонної технології: Учеб. посібник для спец. електронної техніки вузів. - М.: Висш. шк., 1984. - с. 214-215). Таке збільшення коефіцієнта катодного розпилення досягається лише у випадку, якщо всі промені іонного потоку падають на оброблювану поверхню під кутом, �а поверхню оброблюваної деталі (сходящемся потоці) від нуля до критичного. Коефіцієнт катодного розпилення істотно залежить від температури катода, а тому, при інших рівних умовах, оптимізація кута падіння іонного потоку дозволяє знизити температуру хіміко-термічної обробки. А, як відомо, чим вище температура азотування, тим нижче границя витривалості деталей. Це пов'язано з разупрочнением серцевини і зменшенням залишкових напружень стиску.

На кресленні зображена схема пристрою для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді, де: 1 - вакуумна камера, 2 - термоемісійний електрод, 3 - порожнисті циліндричні електроди, 4 - оброблювана деталь, 5 - підкладка для розміщення деталей, 6 - джерело живлення, 7 - другий джерело живлення, 8 - джерело змінного струму, 9, 10 - джерела живлення порожнистих циліндричних електродів.

Працює пристрій наступним чином. Розігрітий до високої температури термоемісійний електрод (2) випускає електрони, які, рухаючись в електростатичному полі, створеному джерелом живлення (7), іонізують простір у вакуумній камері, породжуючи (в основному) позитивні іони. Позитивні іони рухаються в напрямку має негативний потенціал щодо камери обробка�(3) утворюють електростатичну лінзу, фокусна відстань якої буде залежати від співвідношення між потенціалами U1 і U2 відповідно першого і другого порожнистих циліндричних електродів (3) (Л. А. Арцимович, С. Ю. Лук'янов. Рух заряджених частинок в електричних і магнітних полях. М., 1972 р., с. 15-16). Виставляючи з допомогою джерел живлення (9) і (10) U2/U1≥16, маємо термоемісійний електрод на відстані, що дорівнює подвійній внутрішньому діаметру полого циліндричного електрода, отсчитиваемому від середини зазору між порожнистими електродами, тобто у фокусі електростатичної лінзи. Це дозволяє сформувати на виході порожнистих циліндричних електродів паралельний потік іонів, що падають на поверхню оброблюваної деталі під кутом α, рівним критичному, що забезпечує максимальний коефіцієнт розпилення оброблюваної поверхні при даній температурі. Коригують температуру процесу хіміко-термічної обробки деталі (4), змінюючи напругу на підкладці (5) з допомогою джерела живлення (6).

Використання запропонованого пристрою для обробки деталей в несамостійному тліючому розряді дозволяє:

1) підвищити межу витривалості деталей за рахунок зниження температури хіміко-термічної обробки,

2) знизить�-термічної обробки деталі в несамостійному тліючому розряді, містить вакуумну камеру і підкладку для розміщення деталей, джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з підкладкою, позитивним - з корпусом камери, термоемісійний електрод, другий джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з термоемісійним електродом, позитивним - з корпусом камери, порожнистий циліндричний електрод, що має внутрішній діаметр, перевищує геометричні розміри оброблюваної деталі, і термоемісійний електрод, розташований коаксіально з циліндричним електродом, що відрізняється тим, що воно містить другий порожнистий циліндричний електрод, розташований коаксіально першого електрода і утворює з першим електродом електростатичну лінзу, при цьому вісь симетрії порожнистих циліндричних електродів орієнтована під кутом, рівним критичному куті падіння іонного потоку на поверхню оброблюваної деталі, а термоемісійний електрод розташований у фокусі електростатичної лінзи.



 

Схожі патенти:
Винахід відноситься до області машинобудування, до способів утворення захисних покриттів на виробах, що мають тонкостінні і товстостінні частини і виконаних із сталі або титанового сплаву. Проводять очищення виробів у вакуумній камері в середовищі інертного газу, потім здійснюють іонне травлення, іонно-плазмене азотування, чередующееся з іонним травленням, і нанесення нанокомпозитного покриття методом фізичного осадження з парової фази за допомогою магнетронів. Температуру тонкостінних і товстостінних частин виробів вирівнюють під час очищення виробів у середовищі інертного газу, іонного травлення, іонно-плазмового азотування, смугастих з іонним травленням, і нанесення нанокомпозитного покриття шляхом розміщення виробів так, щоб тонкостінна частина одного виробу розташовувалася між товстостінними частинами інших виробів. Згадане нанесення нанокомпозитного покриття проводять шляхом нанесення мікрослоя з наношарів товщиною 1-100 нм з титану і хрому і подальшого нанесення мікрослоя з наношарів товщиною 1-100 нм з нітридів титану і хрому. В окремих випадках здійснення винаходу мікрошар з титану і хрому наносять товщиною 0,3-0,8 мкм шляхом последовательногЅрома наносять товщиною 2,5-3 мкм шляхом послідовного проходження вироби перед магнетронами з мішенями з титану і хрому при подачі в камеру азоту. Підвищується термін служби покриття в умовах ерозії, корозії і високих температур. 2 з.п. ф-ли, 1 табл., 1пр.

Спосіб локальної обробки матеріалу при азотуванні в тліючому розряді

Винахід відноситься до галузі термічної і хіміко-термічної обробки і може бути використане в машинобудуванні та інших галузях промисловості для поверхневого зміцнення матеріалів. Спосіб азотування сталевої деталі в плазмі тліючого розряду включає розміщення сталевої деталі і перфорованого екрану у вакуумній камері, здійснення катодного розпилення, вакуумний нагрівання деталі в плазмі тліючого розряду, що складається з суміші азотсодержащего і інертного газів, з формуванням ділянок з різнорідною структурою сталі, при цьому перехідна ділянка між ділянками з різнорідною структурою має микронеоднородную структуру з поступовою зміною одного виду в інший. Різнорідну структуру формують у вигляді макронеоднородной структури сталі за допомогою перфорованого екрану, виконаного з отворами діаметром d, причому d>4·l, де l - товщина катодного шару, та щільно прилягає до оброблюваної деталі для забезпечення можливості отримання на поверхні ділянок, азотованих в тліючому розряді, що чергуються з неазотированними ділянками. Забезпечується підвищення контактної довговічності і зносостійкості зміцненого шару за рахунок локальної опрацювання�

Спосіб локальної обробки матеріалу з ефектом порожнистого катода при іонному азотуванні

Винахід відноситься до галузі термічної і хіміко-термічної обробки і може бути використане в машинобудуванні та інших галузях промисловості для поверхневого зміцнення матеріалів. Спосіб азотування сталевої деталі в плазмі тліючого розряду включає розміщення сталевої деталі і перфорованого екрану у вакуумній камері, здійснення катодного розпилення, вакуумний нагрівання деталі в плазмі тліючого розряду, що складається з суміші азотсодержащего і інертного газів, з формуванням ділянок з різнорідною структурою сталі, при цьому перехідна ділянка між ділянками з різнорідною структурою має микронеоднородную структуру з поступовою зміною одного виду в інший. Різнорідну структуру сталі формують у вигляді макронеоднородной структури допомогою перфорованого екрану, виконаного з отворами діаметром d, причому 2·l<d<4·l, де l - товщина катодного шару, та щільно прилягає до оброблюваної деталі, для забезпечення можливості отримання на поверхні чергуються азотованих в тліючому розряді з ефектом порожнистого катода ділянок з неазотированними ділянками. Забезпечується підвищення контактної довговічності і зносостійкості зміцненого сло

Спосіб локальної обробки матеріалу з ефектом порожнистого катода при іонному азотуванні

Винахід відноситься до галузі термічної і хіміко-термічної обробки і може бути використане в машинобудуванні та інших галузях промисловості, для поверхневого зміцнення матеріалів. Спосіб азотування сталевої деталі в плазмі тліючого розряду включає катодне розпилення, вакуумний нагрівання деталі в плазмі тліючого розряду, що складається з суміші азотсодержащего і інертного газів, з формуванням ділянок з різнорідною структурою сталі, при цьому перехідна ділянка між ділянками з різнорідною структурою має микронеоднородную структуру з поступовою зміною одного виду в інший. Різнорідну структуру формують у вигляді макронеоднородной структури сталі за допомогою перфорованого екрану, виконаного з отворами діаметром d, причому d>4·l, де l - товщина катодного шару, та щільно прилягає до оброблюваної деталі, і екрану для створення ефекту порожнистого катода, щільно прилягає до перфорированному екрану, для забезпечення можливості отримання на поверхні ділянок, азотованих в тліючому розряді з ефектом порожнистого катода, що чергуються з неазотированними ділянками. Забезпечується підвищення контактної довговічності і зносостійкості зміцненого сло

Спосіб і пристрій для прискореного азотування деталей машин з використанням імпульсів електромагнітного поля

Винахід відноситься до машинобудування, зокрема до способу ионоазотирования деталей машин з використанням імпульсів електромагнітного поля. Забезпечують подачу в камеру для азотування реакційного газу, його нагрів з одночасним генеруванням у камері змінного електромагнітного поля за допомогою соленоїда. Всередині соленоїда розташовують оброблювану деталь з напрямом вектора магнітної індукції перпендикулярно до оброблюваної поверхні деталі і зміною в процесі азотування його величини з формуванням прямокутних імпульсів, тривалість і періодичність яких забезпечує прискорення руху та впровадження іонів азоту в оброблювану поверхню за рахунок вертикального фронту наростання напруженості магнітного поля. Пристрій для здійснення зазначеного способу містить камеру для азотування деталі, пристрій для подачі реакційного газу в згадану камеру на оброблювану деталь, нагрівальний пристрій і пристрій для генерування електромагнітного поля. Пристрій для генерування електромагнітного поля виконано у вигляді розташованого навколо згаданої камери соленоїда, що забезпечує генерування імпульсного елек�брабативаемой поверхні, що знаходиться всередині нього деталі. Забезпечується одночасне прискорення процесу азотування і підвищення механічних властивостей приповерхневих шарів матеріалу, що формуються в результаті одночасного азотування і впливу як на іони азоту, так і на матеріал оброблюваної деталі імпульсами порівняно малопотужного магнітного поля. 2 н. і 2 з.п. ф-ли, 3 іл.
Винахід відноситься до способу іонно-плазмового азотування довгомірної сталевої деталі. Спосіб включає нагрівання деталі, ізотермічну витримку, попереднє азотування, остаточне азотування та охолодження. Починають охолодження до температури 530°C до 370-390°C протягом 100-140 хвилин в плазмі тліючого розряду. Потім проводять охолодження до 240-260°C протягом 100-140 хвилин. Остаточне охолодження до 140-160°C протягом 100-140 хвилин проводять у печі без впливу плазми. Подачу іонізуючих газів здійснюють циклічно. При нагріванні до температури 200-220°C ведуть подачу газової суміші водень, азот, метан протягом 15-20 хвилин, далі до температури нагріву 400-440°C протягом 100-140 хвилин і при ізотермічній витримці протягом 20-40 хвилин здійснюють подачу водню, а при подальшому нагріванні до 480°C подають водень протягом 20-30 хвилин. Попереднє азотування ведуть з участю водню і азоту протягом 100-140 хвилин, а остаточне азотування ведуть з участю азоту, водню і метану протягом 14-16 годин. Охолодження до температури 530°C - 370-390°C ведуть в середовищі азоту і водню протягом 120 хвилин і подальше охолодження до 150-170°C протягом 240 хвилин ведуть з участю лише азоту. В результаті досягається сохраЀаботки і збереження поверхні металу від утворення окисної плівки.

Спосіб виготовлення деталей машин з отриманням субмікро - та наноструктурованого стану дифузійного приповерхневого шару при азотуванні

Винахід відноситься до машинобудування, зокрема до способів підвищення механічних властивостей приповерхневих шарів деталей машин із сплавів на основі заліза з отриманням субмікро - або наноструктурованого стану дифузійних шарів. Спосіб включає збирання пакета з поперемінно чергуються сталевих листів, що мають різний хімічний склад, вакуумування і нагрівання пакету, гарячу деформацію пакета по висоті при температурі, що знаходить між значеннями температур поліморфних перетворень обох сплавів, при цьому після гарячої деформації з пакету вирізають заготовки деталей таким чином, щоб при подальшому азотування напрямок міжшарових меж у заготівлі деталі збігалося з напрямком дифузійного потоку азоту, після чого проводять азотування з отриманням субмікро - та наноструктурованого стану дифузійного приповерхневого шару на поверхні деталі. Спосіб дозволяє підвищити механічні властивості приповерхневих шарів матеріалу, що формуються в результаті азотування, і, відповідно, збільшити довговічність деталей. 9 іл., 1 пр.

Спосіб формування микроструктурированного шару нітриду титану

Винахід відноситься до способу формування микроструктурированного шару нітриду титану. Формування микроструктурированного шару нітриду титану здійснюють шляхом впливу на титанову основу фемтосекундним лазерним випромінюванням з енергією в імпульсі близько 100 мкДж і з щільністю потужності в імпульсі порядку 1013 Вт/см2 в середовищі рідкого азоту. Забезпечуються зносостійкі і корозійно-стійкі покриття на виробах з титану і його сплавів, а також поліпшуються антифрикційні властивості їх поверхонь. 2 іл.

Спосіб азотування деталей машин з отриманням наноструктурованого приповерхневого шару і шару склад

Винахід відноситься до машинобудування, зокрема до способу азотування деталей вузлів тертя ковзання з отриманням наноструктурованого приповерхневого шару. Проводять попередню термообробку деталей шляхом гартування при температурі 920-940°C, подальшого високого відпустки з нагріванням до 600-650°C протягом 2-10 годин і видалення зневуглецьованого шару. Потім здійснюють іонно-плазмене азотування в діапазоні температур 500-570°C при напрузі на катоді 300-320 B, щільності струму 0,20-0,23 мА/см2, при використанні в якості газового середовища аміаку зі ступенем дисоціації від нуля до 80%, витрати аміаку до 20 дм3/год, тиск у камері при катодному розпиленні 1,3-1,35 Па, при насиченні 5-8 ГПа. Зазначене азотування проводять в режимі циклічної зміни температури і ступеня дисоціації аміаку, при цьому в першій половині циклу температура становить 570°C при максимальному азотному потенціалі, а у другій половині циклу температуру знижують до 500°C, при цьому азотний знижують потенціал за рахунок збільшення ступеня дисоціації аміаку до 40-80%, при цьому кількість згаданих циклів повинно бути не менше 10. Азотированная деталь має приповерхневих шар, що містить дифузійний шар з α-фазою з наноразм� з твердими включеннями, представляють собою наночастинки нітридів заліза ε-фази, сформовані шляхом фазової локальної перекристалізації решіток нітридів заліза, яка забезпечується циклічним зміною температури азотування і ступеня дисоціації аміаку. Забезпечується підвищення зносостійкості приповерхневих шарів матеріалу і збільшується довговічність вузлів тертя ковзання з матеріалу з таким складом приповерхневого шару. 2 н.п. ф-ли, 1 табл., 2 іл.
Винахід відноситься до способів підвищення стійкості металу до корозії і може бути використане в підземному трубопровідний транспорт

Спосіб нанесення покриття на металеві заготовки в установці вакуумування (варіанти)

Винахід відноситься до вакуумної обробки поверхонь заготовок. Спосіб нанесення покриття на металеві заготовки здійснюють установки вакуумування, що містить виконаний у вигляді мішені перший електрод, який є частиною джерела випаровування електричною дугою і через який подають дуговий розряд з струмом дугового розряду, за допомогою якого випаровують матеріал мішені, і другий електрод, який виконаний у вигляді держателя заготовок і разом з заготовками утворює електрод зсуву, на який подають напруга зсуву. Попередньо оброблену заготовку за допомогою бомбардування її поверхні іонами металу, при цьому іони металу інжектується в поверхню підкладки без знімання металу з поверхні і зростання шару, причому в поверхню підкладки інжектується іони металу, який є компонентом підлягає несення шару, і на попередньо оброблену поверхню заготовки здійснюють пряме нанесення шару. Технічним результатом винаходу є усунення дефектів зміни підкладки в процесі її обробки. 2 н. і 15 з.п. ф-ли, 10 іл.

Пристрій для іонно-плазмового травлення та нанесення тонких плівок

Винахід відноситься до області нанесення тонких плівок у вакуумі і може бути використано, наприклад, у мікроелектроніці. Пристрій містить вакуумну камеру і магнітну систему. У вакуумній камері розташований анод виконаний у вигляді порожнього прямокутного паралелепіпеда, в отворах підстав якого розташовані мішень і подложкодержатель. Біля відкритих торців розташовані один навпроти одного два спіральних термокатода, мають напівкруглі відбивачі, закривають торці. Паралельно мішені і підкладці встановлені магнітокеровані заслінки. Магнітна система виконана у вигляді двох соленоїдів, пов'язаних магнітопроводом і встановлених біля відбивачів зовні камери. Довжина термокатода l, відстань між мішенню і подложкодержателем h, відстань між катодами L і діаметр мішені d обрані з співвідношень: 0,13 L≤h≤0,3 L; 0,45 L≤d; l=1,14 d. Винахід дозволяє збільшити рівномірність розподілу щільності іонного струму по поверхні мішені і потоку наносимого матеріалу, що призводить до підвищення якості плівок при збільшенні продуктивності і економічності пристрою. 2 з.п. ф-ли, 1 іл.
Винахід відноситься до машинобудування і може бути використане для захисно-зміцнюючої обробки та нанесення зносостійких покриттів на різьбові поверхні деталей, застосовуваних, наприклад, у ролико-гвинтових і шарико-гвинтових передачах. Спосіб включає підготовку поверхні під нанесення покриття та нанесення зносостійкого покриття. При цьому підготовку поверхні під нанесення покриття поєднують з зміцнюючої обробкою, проводячи її в наступній послідовності: деталь занурюють в електроліт, формують навколо оброблюваної поверхні деталі парогазову оболонку і запалюють електричний розряд між оброблюваною деталлю і електролітом шляхом подачі на оброблювану деталь електричного потенціалу, при цьому забезпечують режим електролітно-плазмового полірування різьбової поверхні, а після електролітно-плазмового обробки різьбової поверхні деталі поміщають у вакуумну камеру установки для іонно-імплантаційній обробки, проводять іонне очищення іонами аргону при енергії від 6 до 8 кев і іонно-імплантаційну обробку поверхні деталі іонами ітербій або азоту, а потім у цій же установці іонно-плазмовим методом наносять зносостійке покриття ивойств різьбових поверхонь деталей. 21 з.п. ф-ли, 1 пр.

Спосіб отримання конвертера вакуумного ультрафіолетового випромінювання випромінювання видимого діапазону у вигляді аморфної плівки оксиду кремнію sioхна кремнієвій підкладці

Винахід відноситься до способу отримання люмінесцентного матеріалу - конвертера вакуумного ультрафіолетового випромінювання випромінювання видимого діапазону у вигляді аморфної плівки оксиду кремнію SiOX на кремнієвій підкладці, призначеного для створення функціональних елементів фотонних приладів нового покоління, а також для контролю жорсткого ультрафіолетового випромінювання у вакуумних технологічних процесах. Здійснюють імплантацію в вищевказану плівку іонів кисню з подальшим відпалом при температурі 700-900°С протягом 0,5-1 години в атмосфері сухого азоту. Для імплантації використовують конвертер у вигляді аморфної плівки оксиду кремнію товщиною 20-70 нм, проводять імплантацію з енергією іонів, величину якого визначають за формулою E = 0,19 ⋅ d - 0,18 , де Е - енергія іонів, кев, d - товщина аморфної плівки діоксиду кремнію, яку вибирають в межах від 20 до 70 нм, і при флюенсе, який визначається за формулою F = 2.21 ⋅ 10 15 ⋅ ( x - 2 ) ⋅ d , де F - флюенс, см-2, d - товщина аморфної плівки діоксиду кремнію, яку вибирають в межах від 20 до 70 нм, x - стехіометричний коефіцієнт, що є безрозмірною величиною, який вибирають в межах від 2,01 до 2,45. Забезпечується збільшення інтенсивності червоного випро�ня у видиме. 6 іл., 1 табл., 4 пр.

Спосіб нанесення наноалмазного матеріалу комбінованою електромеханічною обробкою

Винахід відноситься до способу нанесення наноалмазного матеріалу комбінованою електромеханічною обробкою і може бути використано в машинобудівній, авіаційній, автомобільній та інших галузях промисловості. В нормальних атмосферних умовах проводять обробку, при якій на поверхню тертя сталевих деталей наносять обмазку, що складається з коагулированних наноалмазів у вигляді порошку розміром 200...250 нм, змішаних з консистентним графітним мастильним матеріалом, і потім здійснюють електромеханічну обробку із забезпеченням поверхневого шару сталі з ферито-сорбито-трооститной структурою і формуванням на поверхні сталі наноструктурного шару з графіту, спеченого з наноалмазами з отриманням загальної зміцненого шару товщиною до 1,2 мм Забезпечується підвищення триботехнічного показників і зносостійкості деталей з покриттям. 4 іл., 1 табл.

Спосіб плазмового азотування деталей

Винахід відноситься до області поверхневого зміцнення шляхом азотування деталей. Може використовуватися при виготовленні деталей і інструменту, до яких пред'являються вимоги підвищеної опору схоплювання і адгезії в парах тертя і корозійної стійкості в умовах вологого повітря. Плазмене азотування деталей проводять шляхом переміщення деталі щодо плазмотрона в зоні плазмового струменя, що формується в перетворювачі потоку плазмотрона з щілинним вихідним отвором. В якості плазмоутворюючого газу використовують азот, який є одночасно легуючим елементом. Отриманий легований азотом поверхневий шар забезпечує підвищену зносостійкість, втомну міцність і опір корозії в умовах абразивного зношування з мінімальним рівнем деформацій і викривлення деталей. 1 з.п. ф-ли, 2 іл., 2 пр.

Спосіб іонної імплантації поверхонь деталей з конструкційної сталі

Винахід відноситься до області іонно-променевої вакуумної обробки матеріалів і може бути використане в машинобудуванні для підвищення експлуатаційних властивостей деталей машин і механізмів. Спосіб включає обробку поверхні деталей з конструкційної сталі потоком іонів міді та свинцю з використанням катода-имплантера, виготовленого з монотектичного сплаву міді зі свинцем, який контактним легуванням вводять 5-11% алюмінію, а імплантацію здійснюють з дозою (4,5-6,5)·1017 іон/см2. Винахід спрямовано на підвищення корозійної стійкості деталей з конструкційної сталі, що працюють в умовах тертя з додатком зовнішнього навантаження до частин, що труться деталей в корозійному середовищі. 4 іл., 1 табл.

Спосіб імпульсно-періодичної іонної очищення поверхні виробів з діелектричного матеріалу або провідного матеріалу з діелектричними включеннями

Винахід відноситься до іонної очищення поверхні виробів з діелектричного матеріалу або провідного матеріалу з діелектричними включеннями. Вироби розміщують на провідному тримачі, генерують плазму з імпульсно-періодичним прискоренням її іонів шляхом проходження плазмового потоку через прискорює зазор і з забезпеченням почергового опромінення поверхні виробів потоком прискорених іонів і плазмою при подачі на провідний тримач високочастотних короткоімпульсних зміщення потенціалів. Тривалість імпульсів 0,1-10 мкс, коефіцієнт заповнення імпульсів 50-99% і амплітуда потенціалу 1-10 кВ. При цьому опромінення поверхні виробів ведуть при тривалості імпульсу потенціалу зсуву, яка менше часу зарядки ємності конденсатора, утвореного проводять держателем та емісійної кордоном плазми, і при тривалості паузи між імпульсами прискорюючої напруги, яка менше часу проходження плазмового потоку через прискорює зазор. Забезпечується підвищення ефективності короткоимпульсной, високочастотної іонної обробки матеріалів. 7 з.п. ф-ли, 6 іл., 2 пр.

Конвертер вакуумного ультрафіолетового випромінювання випромінювання видимого діапазону у вигляді аморфної плівки оксиду кремнію sioxна кремнієвій підкладці

Винахід відноситься до люмінесцентних матеріалах - конвертера вакуумного ультрафіолетового випромінювання випромінювання видимого діапазону, виконаним у вигляді аморфної плівки оксиду кремнію SiOX на кремнієвій підкладці, призначеним для створення функціональних елементів фотонних приладів нового покоління, а також для контролю жорсткого ультрафіолетового випромінювання у вакуумних технологічних процесах. Товщина аморфної плівки оксиду кремнію SiOX конвертера становить 20÷70 нм. Вміст іонів кисню у згаданій плівці відповідає кількості, при якому стехіометричний коефіцієнт Х знаходиться в межах від 2,01 до 2,45. Збільшуються інтенсивності червоного випромінювання конвертера, а також забезпечується червоне свічення при збереженні конверсії вакуумного ультрафіолетового випромінювання у видиме. 6 іл., 1 табл., 4 пр.

Пристрій для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді

Винахід відноситься до області хіміко-термічної обробки металів. Пристрій для хіміко-термічної обробки деталей в несамостійному тліючому розряді містить вакуумну камеру з підкладкою для розміщення деталей, джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з підкладкою, а позитивним - з корпусом камери, термоемісійний електрод і другий джерело живлення, з'єднаний з негативним полюсом з термоемісійним електродом, а позитивним - з корпусом камери. Термоемісійний електрод виконаний у вигляді складається з дисків ступінчастою фазової зонної пластинки Френеля з змінюється на π фазою коливань її парних зон. Встановлені математичні формули для визначення величини сходинки і радіусів дисків фазової зонної пластинки Френеля. Забезпечується підвищення межі витривалості деталей. 2 іл.
Up!